Вакуумная установка ВУ-750М

На основе ВУ-750M реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены магнетронным методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.

Вакуумная установка состоит из:

  • вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 750×1000 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
  • двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленными пирометром и заслонкой;
  • кварцевого иллюминатора;
  • каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
  • защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;
  • технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
  • системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;
  • системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапаны;
  • системы управления;
  • гидро-пневмосистемы;
  • двух пар дуальных магнетронов;
  • трех датчиков низковакуумных;
  • клапана напуска воздуха в камеру;
  • датчика высоковакуумного, датчика средневакуумного;
  • затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
  • турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
  • источника бесперебойного питания для турбомолекулярного насоса и системы управления;
  • 17-дюймового панельного компьютера;
  • агрегата форвакуумного «сухого»;
  • высокоэнергетичного ионного источника типа УАС для ионной очистки, ассистирования;
  • блока питания ионного источника;
  • блоков питания магнетронов;
  • трех расходомеров РРГ10 и блока управления расходомерами;
  • изолированного привода вращения;
  • комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали;
  • комплекта заслонок магнетронов с пневмопривоводом;
  • встроенного компрессора.

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более

5%

Скорость нанесения, не менее

4 мкм/час

Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более:

200

Средний уровень шума, дБа, не более:

75

Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее:

8

Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более

30

Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более:

5

Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более:

2150×1760×2000

Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более:

1320.