Вакуумная установка ВУ-750М
На основе ВУ-750M реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены магнетронным методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.
Вакуумная установка состоит из:
- вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 750×1000 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
- двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленными пирометром и заслонкой;
- кварцевого иллюминатора;
- каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
- защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;
- технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
- системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;
- системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапаны;
- системы управления;
- гидро-пневмосистемы;
- двух пар дуальных магнетронов;
- трех датчиков низковакуумных;
- клапана напуска воздуха в камеру;
- датчика высоковакуумного, датчика средневакуумного;
- затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
- турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
- источника бесперебойного питания для турбомолекулярного насоса и системы управления;
- 17-дюймового панельного компьютера;
- агрегата форвакуумного «сухого»;
- высокоэнергетичного ионного источника типа УАС для ионной очистки, ассистирования;
- блока питания ионного источника;
- блоков питания магнетронов;
- трех расходомеров РРГ10 и блока управления расходомерами;
- изолированного привода вращения;
- комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали;
- комплекта заслонок магнетронов с пневмопривоводом;
- встроенного компрессора.
Технические характеристики
|
Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более
|
5%
|
|
Скорость нанесения, не менее
|
4 мкм/час
|
|
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более:
|
200
|
|
Средний уровень шума, дБа, не более:
|
75
|
|
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее:
|
8
|
|
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более
|
30
|
|
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более:
|
5
|
|
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более:
|
2150×1760×2000
|
|
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более:
|
1320.
|