Вакуумная установка ВУ-700М

Семейство вакуумных установок BУ-700М для нанесения многослойных функциональных (упрочняющих, антифрикционных, токопроводящих и др.) покрытий на различные элементы (базовая модель, максимальная комплектация).

Вакуумная установка состоит из:

  • вакуумной камеры из нержавеющей стали размером Æ760×775 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
  • двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленными пирометром и заслонкой;
  • кварцевого иллюминатора;
  • каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
  • защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;
  • технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
  • системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;
  • системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапаны;
  • системы управления;
  • гидро-пневмосистемы;
  • одной пары дуальных магнетронов;
  • одного несбалансированного магнетрон;
  • одного внутрикамерного цилиндрического магнетрона;
  • трех датчиков низковакуумных;
  • клапана напуска воздуха в камеру;
  • датчика высоковакуумного;
  • датчика средневакуумного;
  • затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
  • турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
  • 15-дюймового сенсорного монитора;
  • Выдвижного поддона с беспроводными клавиатурой и мышью;
  • агрегата форвакуумного;
  • двух низкоэнергетичных ионных источников для ионной очистки, ассистирования;
  • блоков питания ионных источников;
  • блоков питания дуальных магнетронов;
  • блок питания несбалансированного магнетрона;
  • блок питания внешнего соленоида для несбалансированного магнетрона;
  • трех расходомеров;
  • изолированного, водоохлаждаемого привода вращения;
  • блока подачи отрицательного потенциала смещения на технологическую оснастку;
  • комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали;
  • комплекта заслонок магнетронов с пневмопривоводом;
  • рым-гаек;

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV700M3 вы можете,скачав ее описание по ссылке выше

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по вертикали:

не более 5%.

Скорость нанесения TiN:

не менее 2 мкм/час (дуальные магнетроны)

Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг:

не более: 200.

Средний уровень шума, дБа:

не более: 75.

Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет:

не менее: 8.

Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт:

не более 50.

Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2:

не более: 3,3.

Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В:

не более: 2150х1550х2200.

Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг,

не более: 1500.