Вакуумная установка ВУ-700М
Семейство вакуумных установок BУ-700М для нанесения многослойных функциональных (упрочняющих, антифрикционных, токопроводящих и др.) покрытий на различные элементы (базовая модель, максимальная комплектация).
Вакуумная установка состоит из:
- вакуумной камеры из нержавеющей стали размером Æ760×775 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
- двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленными пирометром и заслонкой;
- кварцевого иллюминатора;
- каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
- защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;
- технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
- системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;
- системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапаны;
- системы управления;
- гидро-пневмосистемы;
- одной пары дуальных магнетронов;
- одного несбалансированного магнетрон;
- одного внутрикамерного цилиндрического магнетрона;
- трех датчиков низковакуумных;
- клапана напуска воздуха в камеру;
- датчика высоковакуумного;
- датчика средневакуумного;
- затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
- турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
- 15-дюймового сенсорного монитора;
- Выдвижного поддона с беспроводными клавиатурой и мышью;
- агрегата форвакуумного;
- двух низкоэнергетичных ионных источников для ионной очистки, ассистирования;
- блоков питания ионных источников;
- блоков питания дуальных магнетронов;
- блок питания несбалансированного магнетрона;
- блок питания внешнего соленоида для несбалансированного магнетрона;
- трех расходомеров;
- изолированного, водоохлаждаемого привода вращения;
- блока подачи отрицательного потенциала смещения на технологическую оснастку;
- комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали;
- комплекта заслонок магнетронов с пневмопривоводом;
- рым-гаек;
Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV700M3 вы можете,скачав ее описание по ссылке выше
Технические характеристики
|
Неравномерность нанесения покрытий по вертикали:
|
не более 5%.
|
|
Скорость нанесения TiN:
|
не менее 2 мкм/час (дуальные магнетроны)
|
|
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг:
|
не более: 200.
|
|
Средний уровень шума, дБа:
|
не более: 75.
|
|
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет:
|
не менее: 8.
|
|
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт:
|
не более 50.
|
|
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2:
|
не более: 3,3.
|
|
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В:
|
не более: 2150х1550х2200.
|
|
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг,
|
не более: 1500.
|