На основе BУ-700DLC реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены контролируемым получением алмазоподобных покрытий импульсно-дуговым методом с ионной очисткой.
Вакуумная установка состоит из:
Технические характеристики
Неравномерность нанесения покрытий по куполу не более: |
±1,5% |
Неравномерность нанесения покрытий при применении планетарной системы по куполу не более: |
±1%. Предусмотрена система установки подвижных и неподвижных масок |
Вместимость куполообразного подложкодержателя, деталей диаметром 40 мм, шт.: |
не менее 90 |
Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром до 150 мм, шт.: |
не менее 6 |
Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром до 320 мм, шт.: |
не менее 3 |
Вместимость столика для деталей диаметром до 500 мм, шт.: |
одна |
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более: |
200 |
Средний уровень шума, дБа, не более: |
75 |
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее: |
8 |
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более: |
30 |
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более: |
5. |
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более: |
2000×1500×2000 |
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более: |
1320 |
Скорость нанесения, мкм/ч – не менее: |
0,5 |
Коэффициент пропускания на длине волны 10 мкм для одностороннего покрытия на германии, % не менее: |
61 |
Класс прочности: |
«0» группа по ГОСТ 3-1901.95 |