Вакуумная установка ВУ-700DCL

На основе BУ-700DLC реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены контролируемым получением алмазоподобных покрытий импульсно-дуговым методом с ионной очисткой.

Вакуумная установка состоит из:

  • вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с ручьями охлаждения;
  • турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе, со скоростью откачки не менее 2000 л/сек по азоту, с контроллером;
  • импульсно-дугового испарителя, установленного на сепараторе;
  • поворачивающих соленоидов с источниками питания;
  • кварцевых датчиков толщины наносимых покрытий с контроллером;
  • лазера с блоками питания;
  • степпера – системы фокусировки луча лазера и его перемещения вдоль оптического ввода и поворота на 90°;
  • низкоэнергетичного ионного источника для ионной очистки с блоком питания;
  • технологической оснастки с одинарным и двойным вращением с вводом вращения;
  • каркаса силового;
  • затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом, не менее Ду250;
  • «сухого» насоса со скоростью откачки не менее 20 л/с по азоту;
  • форвакуумного клапана с Ду40 (пневмопривод), байпасного клапана Ду63 (пневмопривод);
  • активных датчиков давления (вакуума);
  • защитно-декоративных панелей со встроенными замками;
  • системы управления и питания;
  • емкостного аккумулятора и блока зарядки емкостного аккумулятора;
  • расходомеров с блоками питания;
  • панельного компьютера, клавиатуры;
  • пневмо-гидропанели

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по куполу не более:

±1,5%

Неравномерность нанесения покрытий при применении планетарной системы по куполу не более:

±1%. Предусмотрена система установки подвижных и неподвижных масок

Вместимость куполообразного подложкодержателя, деталей диаметром 40 мм, шт.:

не менее 90

Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром до 150 мм, шт.:

не менее 6

Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром до 320 мм, шт.:

не менее 3

Вместимость столика для деталей диаметром до 500 мм, шт.:

одна

Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более:

200

Средний уровень шума, дБа, не более:

75

Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее:

8

Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более:

30

Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более:

5.

Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более:

2000×1500×2000

Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более:

1320

Скорость нанесения, мкм/ч – не менее:

0,5

Коэффициент пропускания на длине волны 10 мкм для одностороннего покрытия на германии, % не менее:

61

Класс прочности:

«0» группа по ГОСТ 3-1901.95