На основе ВУ-700Д реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены вакуумно-дуговым методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.
Вакуумная установка состоит из:
Технические характеристики
Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более |
5% |
Скорость нанесения TiN, не менее |
4 мкм/час |
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более: |
500 |
Средний уровень шума, дБа, не более: |
75 |
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее: |
8 |
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более: |
30 |
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более: |
5 |
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более: |
2145×2160×2000 |
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более: |
1320 |