Вакуумная установка ВУ-700Д

На основе ВУ-700Д реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены вакуумно-дуговым методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.

Вакуумная установка состоит из:

  • вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
  • двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленным пирометром и кварцевым иллюминатором с заслонокой;
  • каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
  • технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
  • шести нагревателей;
  • системы откачки, включающей в себя форвакуумный и байпасный клапаны;
  • системы управления;
  • гидро-пневмосистемы;
  • четырех дуговых испарителей;
  • трех датчиков низковакуумных;
  • клапана напуска воздуха в камеру;
  • датчика высоковакуумного;
  • затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
  • турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
  • 17-дюймового панельного компьютера;
  • насоса Рутса;
  • насоса пластинчато-роторного;
  • двух низкоэнергетичных ионных источников для ионной очистки и ассистирования с блоками питания;
  • четырех блоков питания дуговых испарителей;
  • трех расходомеров;
  • изолированного, водоохлаждаемого ввода вращения;
  • четырех блоков поджига дуговых испарителей;
  • одного колена 90°;
  • контроллера турбомолекулярного насоса;
  • блока подачи отрицательного потенциала смещения на технологическую оснастку.

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более

5%

Скорость нанесения TiN, не менее

4 мкм/час

Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более:

500

Средний уровень шума, дБа, не более:

75

Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее:

8

Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более:

30

Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более:

5

Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более:

2145×2160×2000

Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более:

1320