Вакуумная установка ВУ-300/2М4

Семейство вакуумных установок ВУ-300/2M4 предназначено для нанесения толстых (до 100 мкм) металлических многослойных покрытий на различные легкоплавкие элементы магнетронным методом.

Вакуумная установка состоит из:

  • двух вакуумных камер из нержавеющей стали размером 520 х 420 мм;
  • двух дверей вакуумных камер из нержавеющей стали с иллюминаторами из кварцевого стекла с заслонками ;
  • двух пирометров;
  • каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
  • защитно-декоративных панелей с блокирующими замками (условно не показаны);
  • системы технологической оснастки (условно не показана)
  • системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапана;
  • системы управления;
  • поддона с выдвижной клавиатурой;
  • гидро- пневмосистемы;
  • магнетронов и водоохлаждаемого анода;
  • низковакуумных датчиков;
  • высоковакуумных датчиков;
  • клапана напуска воздуха в камеру;
  • двух затворов высоковакуумных с пневмоприводом;
  • турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе с интегрированным контроллером;
  • 15-дюймового тактильно-чувствительного монитора;
  • агрегата форвакуумного «сухого»;
  • блоков питания магнетронов;
  • расходомеров;
  • возвратно-поступательного механизма перемещения магнетронов относительно подложе;
  • комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали (условно не показаны);
  • встроенного компрессора;
  • системы охлаждения подложек для каждой камеры.

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более

5%

скорость нанесения меди не менее

0,33 мкм/мин.

скорость нанесения никеля не менее

0,15 мкм/мин.

количество подложек размером Ø2х90 мм

не менее 2 шт.

количество подложек размером Ø25х90 мм

не менее 2 шт.

Средний уровень шума, дБа, не более:

75

Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее:

8

Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт,

не более 10

Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2 не более:

10

Габариты вакуумной установки, мм, ДхШхВ, не более:

2200х1622х1780

Масса вакуумной установки, кг, не более:

1000