Семейство вакуумных установок ВУ-300/2M4 предназначено для нанесения толстых (до 100 мкм) металлических многослойных покрытий на различные легкоплавкие элементы магнетронным методом.
Вакуумная установка состоит из:
Технические характеристики
Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более |
5% |
скорость нанесения меди не менее |
0,33 мкм/мин. |
скорость нанесения никеля не менее |
0,15 мкм/мин. |
количество подложек размером Ø2х90 мм |
не менее 2 шт. |
количество подложек размером Ø25х90 мм |
не менее 2 шт. |
Средний уровень шума, дБа, не более: |
75 |
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее: |
8 |
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, |
не более 10 |
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2 не более: |
10 |
Габариты вакуумной установки, мм, ДхШхВ, не более: |
2200х1622х1780 |
Масса вакуумной установки, кг, не более: |
1000 |