Вакуумная установка ВУ1100 «Оптик» предназначена для нанесения функциональных многослойных оптических покрытий на различные элементы.
№ п/п |
Наименование |
Кол-во |
1 |
Вакуумная камера Ø1100 мм х 1100 мм, изготовленная из нержавеющей стали с ручьями охлаждения Предельно остаточное давление в чистой рабочей камере без оснастки, - 5х10-4 Па. Рабочее давление – 1…5х10-3 Па |
1 |
2 |
Электронно-лучевой испаритель (ЭЛИ) с поворотом луча 2700 Объем тиглей электронно-лучевого испарителя, в том числе Однопозиционный - Двухпозицонный - Трехпозиционный - 35 см3 - 2 шт; Все модификации тиглей водоохлаждаемые. Имеется возможность параллельной работы ЭЛИ. Заслонки управляемые. |
2 |
3 |
Блок питания ЭЛИ с внешним управлением Spallman -максимальная мощность, кВт – 10 кВт -ускоряющее напряжение, кВ – 12 кВ - максимальный ток катода, А - 50 -максимальный ток эмиссии, А - 1 -размер пятна, мм - 4х4 -вращение тиглей - дискретное и непрерывное -электронная система сканирования луча по X , Y |
1 |
4 |
Блок управления электронным лучом |
2 |
5 |
Низкоэнергетичный ионный источник с блоком питания с внешним управлением по интерфейсу RS232/485 для ионной очистки и ионного ассистирования |
2 |
6 |
Высоковакуумная откачка – турбомолекулярный насос MAGWiP2200 на магнитном подвесе, время разгона/торможения не более 10 мин. Скорость откачки по азоту 2100 л/с. |
2 |
7 |
Форвакуумная откачка – форвакуумный агрегат в составе Advavac90х2/ЕН500 с общей откачной способностью 140 л/с. Насос Рутса ЕН500 производства Edwards имеет встроенную гидромуфту, что позволяет включать насос с атмосферного давления |
1 |
8 |
Затвор высоковакуумный, ISO250Bмм, пневмопривод, шиберного типа, нержавеющая сталь, с датчиками положения, нержавеющая сталь |
2 |
9 |
Форвакуумный (2 шт.), байпасный (1 шт.) и аврийный (1 шт.) клапана, пневмопривод. |
4 |
10 |
Газонапуск - расходомеры РРГ10 с аналоговым управлением. |
3 |
11 |
Пневмо-гидро системы на основе компонентов SMC, включая проточный нагреватель |
2 |
12 |
Система управления - PLC на основе Wago, включая 17" тактильночувствительный монитор. ПО совместимо с Windows 10, 7 Программа управления на основе Codesys Программа визуализации на основе Builder C++ Наличие источника бесперебойного питания Программное обеспечение Оборудования обеспечивает:
|
1 |
13 |
Контроль вакуума на основе манометрических преобразователей EDWARDS Низкий вакуум - APG100 (3 шт.) Высокий вакуум - AIMX (1 шт.) |
|
14 |
Система оптического контроля (спектровизор) -спектральный контроль в интервале, нм - 380.. .2400 -точность контроля спектральной характеристики, нм - не хуже 1 нм -наличие контроля на отражение и пропускание - есть Отдельный ЖК-монитор для визуализации оптического контроля - 1 шт |
1 |
15 |
Узел контрольных свидетелей на 10 шт. |
1 |
16 |
Арматура для установки подвижных и неподвижных масок. -неравномерность нанесения покрытия по куполу, % - не более ±1,5 -неравномерность нанесения покрытия на плоском столике для деталей диаметром до |
2 |
17 |
Плавный нагрев подложек, ТЭНы, до 3500С, точность поддержания температуры +50С термопарой. Аналоговое управление. |
1 |
18 |
Комплект внутрикамерных экранов, нержавеющая сталь |
2 |
19 |
Резистивный испаритель (300А), управляемые заслонки |
2 |
20 |
Блок питания резистивного испарителя с аналоговым управлением. |
2 |
21 |
Технологическая оснастка – купольного и планетарного. Плавное вращение арматуры на основе мотор-редуктора частотным регулятором LG; Предусмотрено наличие электроштабеллера для загрузки/выгрузки технологической оснасткию |
2 |
22 |
Кварцевый контроль толщины SQM160 Inficon |
3 |
23 |
Чиллер (SMC) с буферным баком из нержавеюшей стали 50л |
1 |
24 |
Компрессор «сухого» типа с ресивером |
1 |
25 |
Силовой каркас установки с комплектом защитно-декоративных панелей |
1 |
26 |
Количество слоев покрытий, которое можно нанести, шт. |
88 |
27 |
Потребляемая мощность, кВт |
40 |
28 |
Габаритные размеры, включая выносные элементы, мм (ДхШхВ) |
2200х3000х2000 |