Вакуумная установка ВУ-1100 «Оптик»

№

п/п

Наименование

Кол-во

1

Вакуумная камера Ø1100 мм х 1100 мм, изготовленная из нержавеющей стали с ручьями охлаждения

Предельно остаточное давление в чистой рабочей камере

без оснастки, - 5х10^-4 Па.

Рабочее давление – 1…5х10^-3 Па

1

2

Электронно-лучевой испаритель (ЭЛИ) с поворотом луча 270⁰

Объем тиглей электронно-лучевого испарителя,

в том числе Однопозиционный - 135 см - 2 шт;

Двухпозицонный - 58 см - 2 шт;

Трехпозиционный - 35 см³ - 2 шт;

Все модификации тиглей водоохлаждаемые.

Имеется возможность параллельной работы ЭЛИ.

Заслонки управляемые.

2

3

Блок питания ЭЛИ с внешним управлением Spallman

-максимальная мощность, кВт – 10 кВт

-ускоряющее напряжение, кВ – 12 кВ

- максимальный ток катода, А - 50

-максимальный ток эмиссии, А - 1

-размер пятна, мм - 4х4

-вращение тиглей - дискретное и непрерывное

-электронная система сканирования луча по X , Y

1

4

Блок управления электронным лучом

2

5

Низкоэнергетичный ионный источник с блоком питания с внешним управлением по интерфейсу RS232/485 для ионной очистки и ионного ассистирования

2

6

Высоковакуумная откачка – турбомолекулярный насос MAGWiP2200 на магнитном подвесе, время разгона/торможения не более 10 мин.

Скорость откачки по азоту 2100 л/с.

2

7

Форвакуумная откачка – форвакуумный агрегат в составе Advavac90х2/ЕН500 с общей откачной способностью 140 л/с.

Насос Рутса ЕН500 производства Edwards имеет встроенную гидромуфту, что позволяет включать насос с атмосферного давления

1

8

Затвор высоковакуумный, ISO250Bмм, пневмопривод, шиберного типа, нержавеющая сталь, с датчиками положения, нержавеющая сталь

2

9

Форвакуумный (2 шт.), байпасный (1 шт.) и аврийный (1 шт.) клапана, пневмопривод.

4

10

Газонапуск - расходомеры РРГ10 с аналоговым управлением.

3

11

Пневмо-гидро системы на основе компонентов SMC, включая проточ­ный нагреватель

2

12

Система управления - PLC на основе Wago, включая 17" тактильно­чувствительный монитор.

ПО совместимо с Windows 10, 7

Программа управления на основе Codesys

Программа визуализации на основе Builder C++

Наличие источника бесперебойного питания

Программное обеспечение Оборудования обеспечивает:

• надежную работу установки в автоматическом режиме и в режи­ме ручного управления;
• удобный способ задания технологических режимов работы (ре­цептов технологии) для осуществления процессов вакуумной откачки, ионной очистки, напыления, нагрева и охлаждения, газонапуска в задан­ной последовательности в соответствии с заданными значениями техно­логических параметров;
• возможность сохранения в памяти компьютера (на жестком дис­ке) до 1000 и более протоколов произведенных циклов напыления и рас­печатки на бумажный носитель.
• вызов из памяти компьютера рецептов в процессе работы на ва­куумной установке;
• возможность редактирования рецептов и их удаления при необ­ходимости;
• возможность установки защиты от несанкционированного досту­па к управляющим программам;
• возможность протоколирования производимого технологического цикла напыления с фиксированием заданных и действительных техноло­гических параметров по вакууму, ионной очистке, напылению, охлажде­нию, напуска аргона и кислорода, оптической толщине покрытия - в ре­жиме реального времени в виде диаграммы;
• возможность осуществления диагностики аварийных ситуаций

1

13

Контроль вакуума на основе манометрических преобразователей EDWARDS

Низкий вакуум - APG100 (3 шт.)

Высокий вакуум - AIMX (1 шт.)

14

Система оптического контроля (спектровизор)

-спектральный контроль в интервале, нм - 380.. .2400

-точность контроля спектральной характеристики, нм - не хуже 1 нм

-наличие контроля на отражение и пропускание - есть

Отдельный ЖК-монитор для визуализации оптического контроля - 1 шт

1

15

Узел контрольных свидетелей на 10 шт.

1

16

Арматура для установки подвижных и неподвижных масок.

-неравномерность нанесения покрытия по куполу, % - не более ±1,5

-неравномерность нанесения покрытия на плоском столике для деталей диаметром до 500 мм,% - не более ±2,5

2

17

Плавный нагрев подложек, ТЭНы, до 350⁰С, точность поддержания тем­пературы +5⁰С термопарой. Аналоговое управление.

1

18

Комплект внутрикамерных экранов, нержавеющая сталь

2

19

Резистивный испаритель (300А), управляемые заслонки

2

20

Блок питания резистивного испарителя с аналоговым управлением.

2

21

Технологическая оснастка – купольного и планетарного. Плавное вращение арматуры на основе мотор-редуктора частотным ре­гулятором LG;

Предусмотрено наличие электроштабеллера для загрузки/выгрузки технологической оснасткию

2

22

Кварцевый контроль толщины SQM160 Inficon

3

23

Чиллер (SMC) с буферным баком из нержавеюшей стали 50л

1

24

Компрессор «сухого» типа с ресивером 20 л.

1

25

Силовой каркас установки с комплектом защитно-декоративных панелей

1

26

Количество слоев покрытий, которое можно нанести, шт.

88

27

Потребляемая мощность, кВт

40

28

Габаритные размеры, включая выносные элементы, мм (ДхШхВ)

2200х3000х2000