Установка вакуумная модели ВУ- 2М

ВУ-2М

 

Изделие предназначено для нанесения в вакууме покрытий на оптические детали методом электронно-лучевого и резистивного испарения диэлектриков, полупроводниковых материалов и металлов с одновременным фотометрическим контролем толщины покрытия.

Вакуумная установка обеспечивает возможность нанесения металлических, однослойных, просветляющих, ахроматических, интерференционных, зеркальных, фильтрующих, токопроводящих и других оптических покрытий для области спектра, ограниченной длинами волн в диапазоне 250-1100м/м.

Откачка камеры до начала проведения процесса напыления может производиться в ручном и автоматическом режимах.

В автоматический режим, кроме получения рабочего давления, включена ионная очистка деталей и нагрев деталей до заданной температуры с вращением арматуры.

Вакуумная установка должна эксплуатироваться на вакуумных участках и в лабораториях при температуре окружающего воздуха от 17 до 280С, относительной влажности от 40 до 75% и атмосферном давлении 8,4 х104 – 10,6х104 Па (630-800 мм рт. ст).

Вакуумная установка состоит:

  • откачной пост (с высоковакуумными средствами откачки);
  • агрегат форвакуумный АВР-60;
  • комплекс фотометрического контроля толщины СФКТ-751В;
  • стойка управления.

Технические характеристики

1. Давление в камере Па (мм рт. ст.) 6х10-4 (45х10-7)
2. Время достижения давления в камере без прогрева при рабочем режиме  диффузионного насоса и при охлаждении жидким азотом криопанели и ловушек с начала откачки воздуха из камеры, мин., не более 30
3. Количество испарителей, шт 3
    электронно-лучевых (ЭЛИ) 2
    резистивных 1
4. Максимальная мощность ЭЛИ, кВт 6
5. Внутренний диаметр камеры, мм 700
6. Макс. масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг не более 10
7. Максимальная температура нагрева оптических деталей, 0С 320
8. Частота вращения арматуры с-1 (об/мин) 0,1-1 (6-60)
9. Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более 30
10. Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой, м2 не более 6
11. Масса установки, кг 1970