Вакуумная установка ВУ-700 «Д3»

Вакуумная установка ВУ-700 «Д3»

Вакуумная установка предназначена для нанесения в вакууме покрытий различного фукнционального назначения комбинированным методом в сочетании с использованием ионной очистки и ассистирования.

  • Устройства распыления: протяжённый планарный несбалансированный магнетронный источник (90х520 мм), два электродуговых испарителя, диаметр катода 116мм.
  • Для очистки и ассистирования применён протяжённый планарный ионный источник. Высота зоны обработки 520 мм.

Технические характеристики:

1. Время достижения остаточного давления в чистой рабочей камере 5х10-4Па, мин,
20
2. Предел регулирования давления реактивного газа при напылении, Па
от 1,33 до 1х10-2
3. Размеры вакуумной камеры:
  • диаметр, мм
  • высота, мм
700
700
4.Варианты высоковакуумной откачки по требованию Заказчика:
  • диффузионный насос
  • криогенный насос
7000 л/сек
6500 л/сек
5. Форвакуумный агрегат производительностью
60 л/сек
6. Контроль качества наносимых покрытий производится при помощи прибора спектрального управления и контроля. По спектру плазмы при помощи обратной связи идёт управление системой напуска технологического газа. Таким образом можно получить покрытия необходимого состава и качества с высокой повторяемостью.
7.Температура нагрева подложек, 0С
320
8. Скорость вращения технологической оснастки, об/мин
от 6 до 60
9. Установка выполнена в двух вариантах по системе управления:
  • в ручном дистанционном управлении;
  • в автоматизированном режиме.
10. Система напуска технологического газа выполнена на базе электромагнитных регулируемых натекателей и обеспечивает необходимое количество каналов подачи технологических газов и их смесей.
11. Максимальная мощность, потребляемая установкой, кВт, не более
25
12. Площадь, занимаемая вакуумной установкой, м2, не более
8
13. Установка соответствует всем требованиям безопасности. Предусмотрены все условия для безопасной работы обслуживающего персонала.

Требования к материалам установки

Камера рабочая, элементы внутрикамерных устройств, вакуумной и газовой систем изготовлены из стали 12Х18Н10Т, титана ВТ-1, меди Моб, М1, фторопласта Ф-4.

Чистота обработки поверхностей, обращённых к вакуумному объёму не ниже Ra=1,6.

Разводка магистралей вакуумной и газовой систем выполнена из стали 12Х18Н10Т, уплотнительные элементы трубопроводов изготовлены из резиновых смесей ИРП1245, ИРП1265, витона, фторопласта Ф-4.