Установка вакуумная специальная модели ВУ-2МБС

 ВУ-2МБС

Изделие предназначено для нанесения тонкопленочных износостойких покрытий вакуумно-плазменным способом из электропроводного тугоплавкого материала – титана (Ti), а также его соединений с газами (TiN , TiC) (нитриды, карбиды).

Предусмотрена возможность нанесения покрытий из других тугоплавких электропроводящих материалов, в том числе молибдена, циркония иодитного (Zr) и их соединений (нитриды, карбиды в том числе).

Установка может эксплуатироваться в закрытых сухих помещениях промышленных объектов категории 4.2 по ГОСТ 15150-69 при климатических условиях:

  • температура окружающей среды от 170С до 270С;
  • относительной влажности от 40 до 75%
  • атмосферном давлении от 9,6х104 Па (720 до 780 мм рт.ст.)

В состав установки входит:

  • откачной пост (с высоковакуумными средствами откачки, вакуумной системы и пневмогидроаппаратурой);
  • форвакуумный агрегат;
  • электрооборудование (со стойкой управления, блоком выпрямителей).

По требованию заказчика может дополнительно комплектоваться:

  • пылезащитной камерой;
  • ультразвуковой ванной УЗВ – 16М или УЗВ – 15;
  • ультразвуковым генератором УЗГ2 – 4М.

Технические характеристики:

1. Предельное давление в чистой, пустой и обезгаженной камере, при охлаждении ее холодной водой, Па (мм. Рт.ст.)
1,33х10-3
(1х10-5)
2. Время достижения давления 1,33х10-3 Па, мин
20
3. Размеры рабочей камеры, мм
  • диаметр
  • высота
700
776
4. Количество дуговых испарителей, шт.
4
5. Скорость осаждения покрытия, мкм/час
16-35
6. Микротвердость покрытия, кг/мм2
До 2400
7. Наибольшие размеры обрабатываемого инструмента, мм
  • диаметр
  • длина
200
200
8. Производительность при упрочнении инструмента, шт/час:
  • сверл диаметром 5 мм
  • сверл диаметром 10мм
  • пластин размером 12,7х12,7
  • дисковых фрез диаметром 60 мм
1800
600
1000
380
9. Ток дуги, А
65-250
10. Напряжение высоковольтного источника в рабочем режиме, В
1200± 200
11. Диапазон дискретного регулирования опорного напряжения низковольтного источника, В
15-225
12. Максимальный ток подложки при нормальном режиме, А
15
13. Мощность установки, кВт не более
40
14. Площадь, занимаемая установкой, м2
12
15. Масса установки, кг
2200