Установка вакуумная модели ВУ-1БС

ВУ-1БС

Установка предназначена для нанесения тонкопленочных износостойких и декоративных покрытий тугоплавкими электропроводными материалами (титан, цирконий, молибден, тантал, ванадий, вольфрам), а также их соединений с газами (нитриды, карбиды) на изделия из пластмасс, стекла, керамики, мелкоразмерный инструмент, элементы силовой электроники, товары народного потребления.

Состав установки:

  • откачной пост;
  • агрегат форвакуумный;
  • индикатор температуры пирометрический;
  • стойка управления;
  • камера – к камере крепятся два испарителя, а также имеется заглушенное отверстие для установки третьего испарителя.

Установки выпускаются в различных модификациях (ВУ-1БС-01 – ВУ-1БС-05) и по желанию заказчика, в зависимости от его потребностей, могут комплектоваться дополнительно:

  • приборами спектрального контроля управления;
  • ионными ускорителями “Пульсар-1”;
  • магнетронными источниками.

Технические характеристики:

1. Давление в камере, Па 2х10-3
2. Время достижения давления в камере при рабочем режиме диффузионного насоса и при охлаждении водяной ловушки, с поворотным устройством, мин, не более 15
3. Количество испарителей, шт. 2
4. Максимальная мощность, потребляемая установкой, кВт 25
5. Диаметр рабочей камеры, мм 600
6. Максимальная скорость осаждения покрытия, мкм/ч 20
7. Микротвердость износостойкого покрытия, кгс/мм2 2000
8. Высота рабочей камеры, мм 540
9. Высота установки, мм 1960
10. Общая площадь, занимаемая установкой, м2 10
11. Частота вращения поворотного устройства, об/мин 15
12. Производительность (для сверл с 5 мм), шт/ч 815
13. Масса установки, кг 1700