Вакуумно-дуговая установка со стационарными импульсными плазменными ускорителями (ВДУ-СИ)

Вакуумная установка для реализации ионно-плазменной технологии модели ВДУ-СИ (далее – вакуумная установка) предназначена для нанесения тонкопленочных структур многофункционального назначения, в том числе алмазоподобных углеродных покрытий на детали из металла, стекла, пластмассы и других материалов.

Технические характеристики:

1 Предельное давление в чистой, пустой и обезгаженной камере, Па 1,33х10-3
2 Время восстановления давления 1,33х10-3 Па, мин 30
3 Размеры рабочей камеры, мм
Диаметр
Высота
900
1000
4 Количество плазменных ускорителей с катодами из металла (СПУ-М) с сепарацией плазменного потока, шт 3
5 Количество импульсных плазменных ускорителей с катодами из графита (ИПУ-С) с сепарацией плазменного потока, шт 4
6 Количество протяженных ионных источников для очистки и ассистирования (типа РИФ), шт 1
7 Нагрев подложек, 0С 250
8 Технологическая оснастка:
Одинарная планетарка, шт
Двойная планетарка, шт
1
1
9 Система напуска технологического газа
10 Система контроля и управления технологическим циклом
11 Высоковакуумная откачка: два диффузионных насоса, работающих параллельно НВДМ-400 производительностью 7000 л/с каждый
12 Форвакуумная откачка: форвакуумный агрегат АВР-150 производительностью 150 л/с
13 Максимальная электрическая мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более 50
14 Площадь, занимаемая вакуумной установкой, м2 25

Условия эксплуатации:
1. Вакуумная установка в климатическом исполнении УХЛ 4.2 по ГОСТ 15150-69 должна эксплуатироваться на вакуумных участках и в лабораториях в условиях, соответствующих требованиям РТМ 3-677-75 при температуре окружающего воздуха от 17 до 280С, относительной влажности от 40 до 75% и атмосферном давлении от 9,9х104 до 10,4х104 Па (от 750 до 780 мм рт. ст.).
2. Вакуумная установка подключается к трехфазной четырехпроводной сети переменного тока частотой 50 Гц напряжением 380 В. Допускаемые отклонения на частоту и напряжение по ГОСТ 13109-87.
3. На вакуумную установку подается:

  • холодная вода под давлением от 3х105 до 5х105 Па(от 3 до 5 кгс/см2) и температурой от 15 до 200 С с расходом не менее 1,4 м3/ч;
  • горячая вода под давлением от 3х105 до 5х105 Па (от 3 до 5 кгс/см2) и температурой от 80 до 90С с расходом не менее 1 м3/ч;
  • сжатый воздух под давлением от 4,9х105 до 5,9х105 Па (от 5 до 6 кгс/см2);

Вода, подаваемая в вакуумную установку, должна соответствовать требованиям ГОСТ 2874-82, а также следующим значениям:

  • общая жесткость не менее 4 мг.экв./л;
  • отсутствие взвесей твердых частиц размером более 0,063 мм;
    Сжатый воздух, подаваемый в вакуумную установку, должен соответствовать классу 5 по ГОСТ 17433-80 и быть очищен от влаги и механических частиц групповым цеховым фильтром-влагоотделителем.
  • азот жидкий технический первого сорта ГОСТ 9293-74 в сосудах Дьюара типа А СД 16 ГОСТ 16024-79;
  • азот газообразный, высший сорт ГОСТ 9293-74;
  • аргон газообразный, высший сорт ГОСТ 10157-79.

Схема ВДУ-СИ

Схема ВДУ-СИ

  1. Камера;
  2. Дверь;
  3. Ввод вращения;
  4. Провод;
  5. Ввод вращения оснастки;
  6. Ловушка азотная;
  7. Насос НВДМ-400;
  8. Система охлаждения;
  9. Импульсный плазменный ускоритель с сепарацией плазмы (ИПУ-С);
  10. Испаритель (СПУ-М);
  11. Система напуска технологического газа;
  12. Затвор;
  13. Пневмосистема;
  14. Затвор;
  15. Узел подготовки воздуха.